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GRD-CS3超声扫描显微镜是以波形、图形为显示方式的一种无损检测工具。
GRD-UT150是一款由广林达自主研发的全自动匀胶显影设备,主要 用于给待曝光的wafer涂上光刻胶,并将曝光后的wafer进行显影。广泛 服务于MEMS、OLED、光通信、Saw、先进封装、科研等领域。
GRD-AG1210是一款手动晶圆减薄设备,该设备采用单磨削主轴和单载片台的配置,通过高速旋转的主轴带动砂轮对真空吸附在载片台上的材料进行磨削。适用于12寸以下晶圆以及SiC、陶瓷等材料的减薄加工。
GRD-TCB01是一款手动倒装芯片热压共晶焊设备,可用于SiP系统级封装倒装焊工艺研发和生产。
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