GRD-CS3是以波形、图形为显示方式的一种无损检测工具，能够检测出器件、材料内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷，广泛应用于失效分析、可靠性分析、制程控制、品质控制，产品研发、工艺提升等场景。GRD-CS3 设备直接对标国际品牌，进行了全方位技术提升，是目前唯一高性能国产超扫设备品牌。

■  在硬件方面，GRD-CS3 各项核心元件自主研发，完全国产化，自主可控；其质量高于国内同行，充分保证了检测结果的准确度和可靠性。

■  在软件方面，本产品搭载的NDTS 技术软件保证了设备的高性能，能够配合客户进行软件升级及新功能的开发，提升设备性能。

■ 支持A、B、C扫描，透射扫描，多层扫描，JEDEC托盘扫描，厚度测量等扫描模式。

■ 可用图像的方式显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小，并进行缺陷的尺寸和面积统计，自动计算缺陷占所测量面积的百分比。

■ 扫描轴采用直线电机和光栅尺反馈，可以获得更高的运动精度，最高分辨率达0.1μm。

■ 超声换能器适配范围可由1-300MHz。

■ X/Y检测范围最大为400mm × 400mm，Z向聚焦行程为100mm。

■ 扫描速率最大可达1000mm/s，并可长时间稳定运行。